(International Technology Roadmap of Semiconductors: ITRS) ABD’de 1991 yılında hükümet, sanayi-üniversite işbirliği ile kurulan Ulusal Yarıiletken Teknolojisi Yol Haritası (National TechnologyRoadmap of Semiconductors) örgütlenmesi 23 Nisan 1995 tarihinde uluslararası nitelik kazanmıştır. Oluşturulan Uluslararası Yarıiletken Teknolojisi Yol Haritası ABD, Japonya, Güney Kore, Tayvan ve AB’deki yarıiletken araştırma kurumlarının desteği ile kurulmuştur. Yarıiletken üreticileri arasında bilgi alışverişi sağlayan bu örgütlenme bünyesinde 800 dolayında araştırmacı çalışmaktaydı. Yol haritasında transistorların hangi boyutlara kadar küçüleceği bir takvim verilerek açıklanmıştı. Örgütlenme 2012 yılında ITRS-2.0 aşamasına geçtikten sonra 2015 yılının sonunda Uluslararası Araçlar ve Sistemler Yol Haritası adlı kuruma dönüşmüştür.