Taramalı Elektron Mikroskobu (TEM)

(Scanning electron microscope: SEM) Odaklanmış bir elektron demeti ile ör­nek yüzeyini tarayarak görüntü elde eden bir elektron mikroskobu türüdür. Elektronlar örnekteki atomlarla etki­leşerek örnek yüzeyindeki topografi ve kompozisyon hakkında bilgiler içeren farklı sinyaller üretir. TEM’de görüntü oluşturmak için elektron demeti tara­fından uyarılan örnek atomlarının yay­dığı ikincil elektronlardan faydalanılır.

Örnek maddenin farklı bölgelerinden kopan ikincil elektronların sayısında­ki değişim öncelikle demetin yüzeyle buluşma açısına, yani yüzeyin topogra- fisine bağlıdır. Bu mikroskop ile malze­menin yapı ve biçimi incelenir, mine­rallerin ve taşların kimyasal bileşimi saptanır. TEM ayrıca ilaç sanayiinde, araştırma ve kalite kontrolü ile ateşli silah artıkları gibi kriminal kanıtların incelenmesinde de kullanılmaktadır.