1931: Max Krott ve Ernest Ruska ilk elektron mikroskobunu icat etti. Ruska 1986’da Nobel ödülü aldı.
1947: William Shackley ve ekibi, transistoru icat ederek mikroelektronik dönemini başlattı.
1955: Erwin Muller, alan iyonu sistemi ile çalışan elektron mikroskobunu icat etti ve atomu ilk kez gören kişi oldu. Bu mikroskop cisimleri 2 milyon kat büyütebiliyordu.
1958: Sony’de çalışan bilim insanlarından Leo Esaki, tünelleme olgusunu buldu. Esaki, çok küçük parçacıklar söz konusu olduğunda klasik fiziğin yasalarının değil kuantum fiziğinin kurallarının geçerli olduğunu fark etmişti.
1959: ABD’li fizikçi Richard Feynman, verdiği bir konferansta küçük parçacıklar üzerindeki çalışmaların sağlayacağı yararları anlattı. Nobel ödüllü Feynman’ın “Aşağıda oldukça fazla yer var” adlı konferansı, bu konudaki çalışmalara yeni bir ufuk açtı.
1960: NASA’nın mühendisleri hem manyetik hem de sıvı olan bir madde keşfetti.
1965: Intel’in kurucusu Gordon Moore mikroçiplerle ilgili olan ve kendi adıyla anılan yasayı formüle etti. Bu yasanın işleyişi, nanoteknolojik araştırmalarda önemli kolaylıklar sağladı.
1970: John Pople ve ekibinin İngiltere’de geliştirdiği “Gaussian” adlı bilgisayar programı nano parçacıkların hareketleri ile ilgili hesaplamalara büyük bir hız kazandırdı. Pople 1998 yılında Nobel ödülüne hak kazandı.
1974: Japon bilim insanı Norio Tani- guchi nanoteknoloji terimini ilk kez kullandı.
1977: IBM’de çalışan Charles ve Emma Morrison, Mark Ratner ve A. Aviram adlı araştırmacılar moleküler elektronikte çığır açan bir buluş gerçekleştirdi. Molekülleri elektronik devrelerde kullanmayı öngören bu buluşun değeri ancak 15 yıl sonra anlaşıldı.
1978: Richard van Duyne, moleküllerin incelenmesini sağlayan ve nano ölçekte araştırmaları mümkün kılan bir teknik geliştirdi. Bu teknik, Chandrasekhara Raman adlı bir Hintlinin 1928’deki buluşunun geliştirilmesi ile ortaya çıkmıştı.
1980: Jacop Sagiv, İsrail’de moleküllerin tek tabaka halinde toplanmasını mümkün kılan bir teknoloji geliştirdi. Buluş, optikte ve moleküler elektronikte kullanım alanı buldu.
1981: Gerd Binnig ve Heinrich Rohrer’ın icat ettiği taramalı tünelleme mikroskobu atomları ve molekülleri tek tek görmeyi ve onlar üzerinde işlem yapmayı sağlıyordu. Bu iki bilim insanına 1986’da Nobel ödülü verildi.
1985: Richard Smalley, Robert Curl ve Harry Kroto, Karbon-60’ı (C-60) deneysel olarak elde etti. Bu molekülün yüzeyi bir futbol topu gibi altıgenlerden oluşuyordu. Bu moleküle, benzer yapıları mimarlık alanında geliştiren Buckminister Fuller’a atfen “Buckyball” dendi. Bir diğer nano yapıya da “fullerene” adı verildi. Buluşu yapan üç bilim insanı 1996’da Nobel ödülü aldı. C-60, bilinen en güçlü yapıydı ve çelikten en az 10 kat daha dayanıklıydı.
1986: Atomik kuvvet mikroskobu (AFM) yapıldı.
1987: Dimitri Averin ve Konstantin Likharev, Rusya’da tek elektron tünellemesine sahip bir transistor yaptı. Klasik fizikte imkânsız görünen bu tünelleme nano boyutlarda mümkün oluyordu.
1988: Kuantum benekleri keşfedildi. Aynı maddenin renk değiştirme özelliğini sergileyen bu benekler, LED televizyon cihazlarında, hastalıkları teşhiste ve güneş enerjisinden yararlanma konusunda kullanım alanı buldu.
1989: Ksenon elementinin 35 atomu ile IBM logosu yazıldı.
1991: Japon bilim insanı Sumio Iijima, karbon nanotüplerin yeni bir türünü keşfetti. Tek duvarlı olan bu C-60 bakırdan daha iletkendi.
1993: Iijima ve Bethune çok duvarlı nanotüpleri buldu.
1996: Chad Mirkin ve Robert Letzin- ger, DNA ve altın yardımıyla nano yapıtaşlarını bir araya getirmeyi başardı.
1999: “Dip pen” litografisi, nano parçacıklar üzerinde işlem yapmayı kolaylaştırdı. Bu teknoloji, bir tükenmez kalemle kâğıt üzerine yazı yazmaya benzer bir şekilde yeni moleküllerin oluşturulmasına imkân veriyordu.
2000: Nano parçacıkların litografisinde geribildirimli (feedback) cihazlar kullanılmaya başlandı.
2001: Nanotüplerden ilk defa transistor ve mantık devreleri yapıldı.
2005: Dört tekerlekli ve çok küçük boyutlu nano arabalar ilk kez hareket ettirildi.
2006: Nanoteknoloji, kendini temizleyen camın ve virüslere karşı korunma sağlayan dayanıklı boyaların yapımında kullanıldı.
2007: Nanoteknolojinin dizüstü bilgisayarların çift çekirdekli işlemcilerinde kullanımı yaygınlaştı.
2008: Enerji verimliliği daha yüksek olan pillerin yapımında nano parçacıklar ile ilgili araştırmaların sonuçları kullanıldı.
2009: DNA’dan yararlanarak yapılan nanorobot bir zemin üzerinde hareket etti.
2009-2010: Nadrian Seeman ve arkadaşları, DNA’ya benzeyen nano ölçekli robot montajı yapan parçacıklar üretti.
2010: IBM bünyesindeki araştırmacılar, nano boyutlu silikon bir uçla, bir tuz tanesinin binde biri boyutlara sahip olan üç boyutlu bir dünya haritası yaptı.
2016: Grafenden yapılmış nano araçlar DNA’nın dizilim çalışmalarında kullanıldı.
2018: San Diego’daki California Üniversitesinden Thomas Mallouk, insan hücreleri içinde, hücrelere zarar vermeden dolaşan bir mikromotor geliştirdi. Ultrasonla hareket ettirilen ve mıknatıs ile idare edilen mikromotor tıbbi teşhis ve tedavide kullanılacak.
2019: Massachusetts Institute of Technology’da (MIT) çalışan Brian Wardle, bilenen siyahtan 10 kat daha siyah olan bir karbon nanotüp (KNT) geliştirdi.
Bu KNT, uzay teleskoplarının gezegenleri izlemesinde kullanılacak.
Nano birimler dönemi
Günümüzde gram ve metre gibi temel ağırlık birimlerinin binde biri veya bin katı, bilim ve teknikteki gelişmeleri kavramamıza yetmiyor. Örneğin milimetre metrenin binde biri için kullanılırken, metrenin milyonda biri için mikrometre devreye giriyor. Nano- teknolojideki geçerli ölçü ise metrenin milyarda biri olan "nano" oluyor. Bu küçük dünyanın başlıca ölçüleri ise şöyle sıralanıyor:
Atto: 1.000.000.000.000.000.000'da 1 = metrenin kentilyonda biri Femto: 1.000.000.000.000.000'da 1 = metrenin katrilyonda biri. Piko: 1.000.000.000.000'da 1 = Metrenin trilyonda biri.
Nano: 1.000.000.000'da 1 = Metrenin milyarda biri.
Mikro: 1.000.000'da 1 = Metrenin milyonda biri.
Milimetre: 1000'de 1 = Metrenin binde biri.
Santimetre: 100'de1 = Metrenin yüzde biri.
Desimetre: 10'da 1 = Metrenin onda biri.
Mikro ve piko arasındaki birimler nanoteknolojide yaygın olarak kullanılıyor.