Nanolitografi

(Nanolithography) Nano boyutta aletler kullanarak molekül ve atom düzeyindeki malzemelerin bir yere biriktirilmesi veya oradan uzaklaştı­rılmasıdır. Bu yöntemin, çiplerin ya­pımında kullanılan elektron demeti litografisi sistemine alternatif olarak geliştirilmesi amaçlanmaktadır.