Nano Elektromekanik Sistemler (NEMS)

(Nanoelectromechanical systems: NEMS) Nano ölçekte elektriksel ve mekanik iş­levselliği birleştiren ve fiziksel, kimya­sal ve biyolojik sensörler oluşturan bir cihaz sınıfıdır. Bu tür bir cihazla örne­ğin havadaki kimyasal maddelerin var­lığı ve miktarı belirlenebilir.