Mikro Elektromekanik Sistemler (MEMS) 

(Micro electro-mechanical systems: MEMS) Mekanik ve elektronik parçalar­dan oluşan minyatür makinalara verilen addır. Bu makinaların boyutları 1 mikro­metre (metrenin milyonda 1’i) ile birkaç milimetre arasında değişmektedir. Bu tür bir mini makine cep telefonlarının ekran­larında kullanılmaktadır. Ucuz olan ve az enerji tüketen MEMS tipi cihazların nes­nelerin internetinde yaygın olarak kulla­nılacağı tahmin edilmektedir.